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SCMファイン単結晶ダイヤモンドシリーズ |
人工単結晶ダイヤモンドパウダー(レジン、メタル、ニッケルコートタイプ)を始め、スラリー、ペースト、ペレットなどの2次製品も取り揃えています。 砥石用のメッシュサイズからポリッシング用のミクロンサイズまで幅広く供給出来ます。
また、天然ダイヤモンドもご提供出来ます。 |
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SCMファインシリカスラリーCMPシリーズ |
シリコンウェハーを始めとして、サファイヤ、LiTaO3、LiTaO3、アルミHD等の結晶系電子基盤の最終仕上げ用に開発されたナノサイズの高純度コロイダルシリカをベースとした高精度加工用研磨剤です。
また、金属、ガラス、水晶、化合物半導体などの分野へは、アルミナスラリーも供給させて頂いています。 |
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SCMファインポリッシングパッドSPV、SDDシリーズ |
シリコンウェハーを始めとした半導体材料、セラミックス、金属、ガラスなどの超精密研磨用に設計されたポリッシングパッドです。 硬質タイプ(SPV)とスエードタイプ(SDD)の2種類があります。 このパッドを使うことにより、スクラッチ、加工変質層、及び欠陥フリーな超精密表面に仕上ることが比較的簡単に出来ます。 |
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